メニュー
共同利用機器
SePhy002 file manager
Infomation

  
ID35
装置名蒸着装置
型式アネルバ 反応性5元蒸着装置
所属総合理工学部 物理・マテリアル工学科
装置概要5つの蒸発源を有す5元同時蒸着装置である。5蒸発源中3つは流出セル(最高温度1100℃),2つは電子ビームガンである。基板回転機構付きで基板加熱最高900℃である。酸化物薄膜成長用にオゾン化酸素導入状態で蒸着が可能である。
Keyword

Documents


Materials Analysis Division, ICSR, Shimane University 2008