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共同利用機器
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Infomation

  
ID30
装置名微粒子生成回収装置
型式真空冶金 GE-980
所属総合理工学部 物理・マテリアル工学科
装置概要アーク加熱方式ガス中蒸発法を用いて原料となる金属を反応ガス雰囲気で蒸発させ粒径100nm以下の超微粒子を生成する。

アーク加熱装置、水冷真空チャンバー、回収フィルター、ガス導入系、真空排気系からなる。金属または酸化物の超微粒子の生成が可能。

・超微粒子生成チャンバー:最大使用圧力 大気圧

・アーク加熱電源:出力電流 最大120A

・真空ポンプ:油回転ポンプ 240l/min.

・設置面積 W1000XD1000XH1500mm

・ユーティリティ AC200V 3相 8.5KVA

圧縮空気 0.5~0.6Mpa

冷却水  10l/min.
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Materials Analysis Division, ICSR, Shimane University 2008