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共同利用機器
IM009
PhilipsX.jpg
Infomation

  
ID9
装置名薄膜材料結晶性解析X線回折装置
型式フィリップス社  X'Pert PRO MRD
共同利用連絡先物質機能分析部門
設置部局総合理工学部 物理・マテリアル工学科
装置概要X線回折により薄膜材料の結晶性の評価を行うための装置。半導体,超伝導体,強誘電体などの薄膜結晶における格子定数および歪みの解析に用いる。
X線放物面ミラーにより入射X線強度を10倍に増強でき,4結晶モノクロメータ(Ge (220)または(440)対称反射)により10arcsec程度の非常に単色性にすぐれた入射X線が得られる。また,自動測定ソフトウェアにより,逆格子空間マッピング測定も行える。さらには,動力学的回折理論に基づいたシミュレーションソフトにより,X線回折カーブシミュレーションおよびフィッティングができる。
Keyword

X線回折装置
  • X線回折装置
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Materials Analysis Division, ICSR, Shimane University 2008